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國(guó)內(nèi)大型企業(yè)紛紛布局半導(dǎo)體光刻膠，誰(shuí)將“領(lǐng)

光刻膠的發(fā)展是摩爾定律運(yùn)行的核心動(dòng)力，由于光刻膠技術(shù)壁壘極高，國(guó)內(nèi)企業(yè)主要在面板光刻膠、PCB光刻膠等低端領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)進(jìn)口替代，高端半導(dǎo)體光刻膠供貨的企業(yè)屈指可數(shù)。
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隨著國(guó)內(nèi)新建晶圓廠的密集投產(chǎn)，市場(chǎng)需求增長(zhǎng)，半導(dǎo)體光刻膠未來(lái)有很大的拓展空間。當(dāng)前，國(guó)內(nèi)大型公司紛紛進(jìn)入光刻膠領(lǐng)域，其中上市公司就有南大光電、晶瑞股份、上海新陽(yáng)、彤程新材、廣信材料、普利特、恒坤股份等。
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南大光電
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2012年，南大光電登陸創(chuàng)業(yè)板后，攻克國(guó)家863計(jì)劃“MO源（高純度金屬有機(jī)化合物）產(chǎn)業(yè)化”課題；入股北京科華并對(duì)外宣稱，共同開展193nm光刻膠的研究與產(chǎn)品開發(fā)，或許項(xiàng)目進(jìn)展不順等原因影響，南大光電最終轉(zhuǎn)讓北京科華股權(quán)。
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2017年，公司承擔(dān)國(guó)家02專項(xiàng)“集成電路芯片制造用關(guān)鍵核心材料193nm光刻膠材料的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”，采購(gòu)荷蘭ASML浸沒式光刻機(jī)，完成一條193nm光刻膠生產(chǎn)線的安裝。
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今年11月6日，南大光電披露向特定對(duì)象發(fā)行股票預(yù)案，募集資金總額不超過63,500.00萬(wàn)元，扣除發(fā)行費(fèi)用后的凈額將用于光刻膠項(xiàng)目、擴(kuò)建2000噸/年三氟化氮生產(chǎn)裝置項(xiàng)目、補(bǔ)充流動(dòng)資金。項(xiàng)目投產(chǎn)后，公司將達(dá)到年產(chǎn)25噸193nm（ArF干式和浸沒式）光刻膠產(chǎn)品的生產(chǎn)規(guī)模，產(chǎn)品性能滿足 90nm-14nm 集成電路制造的要求。
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近日，公司控股子公司寧波南大光電自主研發(fā)的 ArF 光刻膠產(chǎn)品已成功通過客戶的使用認(rèn)證。
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晶瑞股份
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晶瑞股份全資子公司蘇州瑞紅，主要生產(chǎn)半導(dǎo)體用光刻膠和平板顯示用光刻膠，包含紫外負(fù)型光刻膠和寬譜正膠及部分g/i線正膠等高端產(chǎn)品，承擔(dān)了國(guó)家重大科技項(xiàng)目02專項(xiàng)“i線光刻膠產(chǎn)品開發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目，率先實(shí)現(xiàn)i線光刻膠的量產(chǎn)，產(chǎn)品采用步進(jìn)重復(fù)投影曝光技術(shù)，可以實(shí)現(xiàn)0.35um分辨率。
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2020年，晶瑞股份斥資7500萬(wàn)元進(jìn)口韓國(guó)SK海力士二手ASML光刻機(jī)設(shè)備，全力開展集成電路制造用高端ArF光刻膠研發(fā)項(xiàng)目，用于研發(fā)最高分辨率為28nm的高端光刻膠。
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10月9日，晶瑞股份發(fā)布公告稱，為開展集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)項(xiàng)目，擬通過 Singtest Technology PTE. LTD.進(jìn)口 ASML 光刻機(jī)設(shè)備，總價(jià)款為1,102.5萬(wàn)美元。
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上海新陽(yáng)
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上海新陽(yáng)此前在投資者互動(dòng)平臺(tái)上表示：
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  • 斥資購(gòu)置ASML1400型（55nm）二手光刻機(jī)，用于光刻膠的研發(fā)；

  • 參股的博硯電子主要生產(chǎn)LCD光刻膠，處于快速起量階段；

  • 存儲(chǔ)芯片用半導(dǎo)體厚膜KRF配套光刻機(jī)完成中試；

  • 集成電路制造用193nm ArF光刻膠及配套材料與應(yīng)用技術(shù)。

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12月14日，上海新陽(yáng)發(fā)布公告稱，公司ArF干法光刻膠和KrF厚膜光刻膠的研究階段均已完成，產(chǎn)品配方及生產(chǎn)工藝等已基本確定，中試產(chǎn)品已通過客戶基礎(chǔ)工藝考核，后續(xù)將進(jìn)行客戶上線驗(yàn)證及量產(chǎn)前測(cè)試驗(yàn)證，預(yù)計(jì)KrF厚膜光刻膠2022年可實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，ArF干法光刻膠2023年開始量產(chǎn)，當(dāng)年各項(xiàng)產(chǎn)品銷售收入合計(jì)預(yù)計(jì)可達(dá)近2億元。
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彤程新材
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近年來(lái)，彤程新材正加快電子化學(xué)品業(yè)務(wù)布局。公司于今年成立了全資子公司上海彤程電子材料有限公司，投資5.6988億元在上?；瘜W(xué)工業(yè)區(qū)建設(shè)年產(chǎn)1.1萬(wàn)噸半導(dǎo)體、平板顯示用光刻膠及2萬(wàn)噸相關(guān)配套試劑項(xiàng)目等。

與此同時(shí)，公司在年內(nèi)還收購(gòu)了北京科華微電子33.7%的股權(quán)，成為其第一大股東，目前北京科華是國(guó)內(nèi)光刻膠制備及研發(fā)實(shí)力最強(qiáng)的企業(yè)之一。
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2020年7月2日，公司全資子公司“彤程電子”斥資212.83萬(wàn)美元并購(gòu)國(guó)內(nèi)光刻膠行業(yè)龍頭——北京科華微電子材料有限公司33.70%股份。
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廣信材料
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2018年11月25日，公司與廣至新材料有限公司簽訂《技術(shù)委托開發(fā)合同》，開發(fā)用于LCD/LED平面顯示面板、半導(dǎo)體、PCB柔性板用光刻膠紫外光正型光刻膠。
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該項(xiàng)目已在臺(tái)灣實(shí)驗(yàn)室取得部分研發(fā)成果，其中平面顯示面板用光刻膠有部分產(chǎn)品已經(jīng)由臺(tái)灣廣至在中國(guó)臺(tái)灣地區(qū)實(shí)現(xiàn)銷售，相關(guān)技術(shù)生產(chǎn)出來(lái)的產(chǎn)品性能及質(zhì)量可滿足中國(guó)臺(tái)灣地區(qū)客戶的實(shí)際使用需求。
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據(jù)了解，廣信材料《湖南廣裕感光新材料有限公司年產(chǎn)1,920噸光刻膠建設(shè)項(xiàng)目》環(huán)評(píng)已獲批，公司將繼續(xù)加快推進(jìn)光刻膠項(xiàng)目建設(shè)所需的政府相關(guān)部門報(bào)批、資金籌措、廠房建設(shè)等工作。
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普利特
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公開資料顯示，普利特半導(dǎo)體參股投資了蘇州理碩科技有限公司，該公司目前正處于產(chǎn)品研發(fā)階段，主要方向是KrF和ArF、TFT、PSPI等光刻膠產(chǎn)品的企業(yè)。
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2019年11月，普利特控股子公司上海普利特半導(dǎo)體材料有限公司擬以現(xiàn)金的方式向蘇州理碩投資2,000萬(wàn)元用于光刻膠產(chǎn)品開發(fā)。
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恒坤股份
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2016年10月，公司與韓國(guó)錦湖化工達(dá)成戰(zhàn)略合作意向，開拓光刻膠市場(chǎng)。2018年9月6日，公司全資子公司 HENGKUNPRECISION INDUSTRY(HK) 取得國(guó)內(nèi)知名存儲(chǔ)器IC大廠訂單，總金額為2萬(wàn)美元，訂單標(biāo)的物為Krf光刻膠（Photoresist），這是公司取得的第2家IC大廠光刻膠訂單。
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目前，恒坤股份已經(jīng)掌握了光刻膠與前驅(qū)體的研發(fā)和生產(chǎn)，并于2019年初在漳州設(shè)立了光刻膠生產(chǎn)基地和在大連設(shè)立了前驅(qū)體生產(chǎn)基地。
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圖片

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除了以上上市企業(yè)外，實(shí)體經(jīng)濟(jì)企業(yè)明泉集團(tuán)下屬子公司明士新材料亦有布局研發(fā)光刻膠材料。
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明士新材料是一家專業(yè)從事超大規(guī)模集成電路制造與封裝、光電平板顯示用聚合物材料的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和技術(shù)服務(wù)的企業(yè)，其研究中心位于北京中關(guān)村順義產(chǎn)業(yè)園，生產(chǎn)基地位于山東濟(jì)南。

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來(lái)源：勢(shì)銀膜鏈