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國產(chǎn)光刻膠上市企業(yè)，誰將拔得頭籌？

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目前，中國實現(xiàn)國產(chǎn)化的光刻膠產(chǎn)品主要集中在低端PCB光刻膠和LCD光刻膠。其中，PCB光刻膠國產(chǎn)替代進度最快，據(jù)工信部賽博信息產(chǎn)業(yè)研究院數(shù)據(jù)，PCB光刻膠綜合國產(chǎn)化率50%，占據(jù)國內(nèi)光刻膠市場份額的93%；LCD光刻膠的綜合國產(chǎn)化率5%，占據(jù)國內(nèi)光刻膠市場份額的2%。半導體光刻膠作為生產(chǎn)難度最高的光刻膠，只有低端的g/i線光刻膠綜合國產(chǎn)率10%，高端產(chǎn)品嚴重依賴于進口，行業(yè)發(fā)展與世界先進水平仍有2~3代差距。
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當前，國內(nèi)上市公司彤程新材（北京科華）、晶瑞股份（蘇州瑞紅）、南大光電、上海新陽等多家企業(yè)，正發(fā)力半導體光刻膠的研發(fā)與生產(chǎn)，成為這一領(lǐng)域的重要支持力量。
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彤程新材
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彤程新材（603650.SH）成立于2008年6月，主要從事精細化工材料（酚醛樹脂）的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和貿(mào)易。2018年，登陸上交所。經(jīng)過周密的市場調(diào)研和行業(yè)論證，公司發(fā)現(xiàn)電子級酚醛樹脂是制造光刻膠產(chǎn)品的關(guān)鍵材料之一，大量應用于電子材料制造行業(yè)。
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2020年7月2日，公司全資子公司“彤程電子”斥資212.83萬美元并購國內(nèi)光刻膠行業(yè)龍頭——北京科華微電子材料有限公司33.70%股份。
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北京科華微電子材料有限公司成立于2004年，長期從事芯片級光刻膠的研發(fā)，是中芯國際、華潤上華、杭州士蘭、吉林華微電子、三安光電等行業(yè)頂尖客戶的穩(wěn)定合作伙伴。
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南大光電
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2012年，南大光電登陸創(chuàng)業(yè)板后，攻克國家863計劃“MO源（高純度金屬有機化合物）產(chǎn)業(yè)化”課題；入股北京科華并對外宣稱，共同開展193nm光刻膠的研究與產(chǎn)品開發(fā)，或許項目進展不順等原因影響，南大光電最終轉(zhuǎn)讓北京科華股權(quán)。
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2017年，公司承擔國家02專項“集成電路芯片制造用關(guān)鍵核心材料193nm光刻膠材料的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項目”，采購荷蘭ASML浸沒式光刻機，完成一條 193nm 光刻膠生產(chǎn)線的安裝。
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11月6日，南大光電披露向特定對象發(fā)行股票預案。本次發(fā)行對象為不超過35名符合證監(jiān)會規(guī)定的特定對象，募集資金總額不超過63,500.00萬元，扣除發(fā)行費用后的凈額將用于光刻膠項目、擴建2000噸/年三氟化氮生產(chǎn)裝置項目、補充流動資金。
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本次募投項目投產(chǎn)后，公司將達到年產(chǎn) 25 噸 193nm（ArF 干式和浸沒式）光刻膠產(chǎn)品的生產(chǎn)規(guī)模，產(chǎn)品性能滿足 90nm-14nm 集成電路制造的要求。
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晶瑞股份
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晶瑞股份全資子公司蘇州瑞紅，主要生產(chǎn)半導體用光刻膠和平板顯示用光刻膠，包含紫外負型光刻膠和寬譜正膠及部分g/i線正膠等高端產(chǎn)品，承擔了國家重大科技項目02專項“i線光刻膠產(chǎn)品開發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項目，率先實現(xiàn)i線光刻膠的量產(chǎn)，產(chǎn)品采用步進重復投影曝光技術(shù)，可以實現(xiàn)0.35um分辨率。
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2020年，晶瑞股份斥資7500萬元進口韓國SK海力士二手ASML光刻機設備，全力開展集成電路制造用高端ArF光刻膠研發(fā)項目，用于研發(fā)最高分辨率為28nm的高端光刻膠。
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10月9日，晶瑞股份發(fā)布公告稱，為開展集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)項目，擬通過 Singtest Technology PTE. LTD.進口 ASML 光刻機設備，總價款為 1,102.5 萬美元。
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上海新陽
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上海新陽成立于1999年7月，定位于國內(nèi)半導體材料與氟碳涂料領(lǐng)域的領(lǐng)軍企業(yè)。公司擁有完整自主可控知識產(chǎn)權(quán)的電子電鍍和電子清洗兩大核心技術(shù)，成為中國半導體功能性化學材料和應用技術(shù)與服務的知名品牌。
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公司在投資者互動平臺上表示：
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  • 斥資購置ASML1400型（55nm）二手光刻機，用于光刻膠的研發(fā)；

  • 參股的博硯電子主要從事LCD光刻膠，處于快速起量階段；

  • 存儲芯片用半導體厚膜KRF配套光刻機完成中試；

  • 公司訂購的193nmArF光刻膠配套的光刻機，預計2020年12月底到貨并且完成安裝調(diào)試。

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廣信材料
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2018年11月25日，公司與廣至新材料有限公司簽訂《技術(shù)委托開發(fā)合同》，開發(fā)用于LCD/LED平面顯示面板、半導體、PCB柔性板用光刻膠紫外光正型光刻膠，該項目已在臺灣實驗室取得部分研發(fā)成果，其中平面顯示面板用光刻膠有部分產(chǎn)品已經(jīng)由臺灣廣至在中國臺灣地區(qū)實現(xiàn)銷售，相關(guān)技術(shù)生產(chǎn)出來的產(chǎn)品性能及質(zhì)量可滿足中國臺灣地區(qū)客戶的實際使用需求。
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日前，廣信材料發(fā)布公告稱，全資子公司湖南廣裕感光新材料有限公司收到長沙市生態(tài)環(huán)境局《關(guān)于湖南廣裕感光新材料有限公司年產(chǎn)1,920噸光刻膠建設項目環(huán)境影響報告表的批復》(長環(huán)評(寧高新)[2020]36號)，該批復同意湖南廣裕年產(chǎn)1,920噸光刻膠建設項目環(huán)境影響報告表中所列建設項目的性質(zhì)、規(guī)模、工藝、地點、生態(tài)保護和污染防治措施等。
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公告稱，該光刻膠項目包括“年產(chǎn)1,920噸光刻膠”，公司將督促湖南廣裕按照環(huán)評批復的要求進行項目管理與運營，繼續(xù)加快推進光刻膠項目建設所需的政府相關(guān)部門報批、資金籌措、廠房建設等工作。
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恒坤股份
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2016年10月，公司與韓國錦湖化工達成戰(zhàn)略合作意向，開拓光刻膠市場。2018年9月6日，公司全資子公司 HENGKUNPRECISION INDUSTRY(HK) 取得國內(nèi)知名存儲器IC大廠訂單，總金額為2萬美元，訂單標的物為Krf光刻膠（Photoresist），這是公司取得的第2家IC大廠光刻膠訂單。
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目前，恒坤股份已經(jīng)掌握了光刻膠與前驅(qū)體的研發(fā)和生產(chǎn)，并于2019年初在漳州設立了光刻膠生產(chǎn)基地和在大連設立了前驅(qū)體生產(chǎn)基地。

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來源：勢銀膜鏈