上海新陽：KrF光刻膠已斬獲國內(nèi)主流芯片廠訂單
近年來，隨著大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的發(fā)展，作為微電子技術中微細圖形加工的關鍵材料之一，光刻膠的研究開發(fā)和應用也被提速。
在國家扶持半導體和光刻膠材料的政策背景下，國內(nèi)光刻膠行業(yè)面臨半導體產(chǎn)業(yè)鏈蓬勃發(fā)展的歷史性機遇，上下游企業(yè)配合聯(lián)動，有望加快半導體光刻膠的研發(fā)進程和產(chǎn)品導入，實現(xiàn)新突破。根據(jù)勢銀（TrendBank）預測，2022年中國半導體光刻膠市場規(guī)模將達到39.3億元，同比增長35%。近日，據(jù)國內(nèi)半導體光刻膠企業(yè)上海新陽透露，其KrF光刻膠產(chǎn)品成功打入國內(nèi)主流芯片企業(yè)，這對于國內(nèi)產(chǎn)業(yè)鏈而言是一個令人鼓舞的“量變”。另外，其高端Arf光刻膠產(chǎn)品：ArF、ArF-i光刻膠研發(fā)進展順利，目前已進入客戶端進行測試。?
?KrF光刻膠訂單包含國內(nèi)頭部芯企，已啟動EUV光刻膠前期研發(fā)5月20日，上海新陽在業(yè)績說明會上透露了半導體光刻膠的當前進展。ArF光刻膠方面，ArF、ArF-i光刻膠研發(fā)進展順利，已經(jīng)形成兩個系列試驗產(chǎn)品，樣品已經(jīng)進入客戶端進行測試。上海新陽表示：“由于測試耗時比較長，近期不會有銷售的發(fā)生，但是產(chǎn)品總體技術的指標還都比較不錯，我們現(xiàn)在對這方面也比較有信心?！?/span>KrF光刻膠方面，去年已完成幾款KrF光刻膠產(chǎn)品的研發(fā)、驗證并實現(xiàn)銷售，在手訂單中含有國內(nèi)主流頭部芯片制造公司等大小客戶，覆蓋鋁線制程和銅線制程，用于邏輯、模擬等芯片的生產(chǎn)制造。上海新陽表示：“由于客戶對于光刻膠的使用都會比較謹慎，目前還都是小批量使用，所以今年的銷售額可能不會很大，但明年用量可能會增加較多，后續(xù)增長空間較大，我們可以有所期待。”EUV光刻膠方面，上海新陽表示現(xiàn)在已開始進行EUV光刻膠的前期摸索性基礎研發(fā)，主要為EUV光刻膠的基礎理論、形成機理、性能觀察、配方篩選、制備方法等基礎性研發(fā)工作。此外，關于“疫情對于公司生產(chǎn)經(jīng)營帶來了哪些影響”的問題，上海新陽回應稱，疫情對公司業(yè)務整體有一定影響，半導體業(yè)務化學產(chǎn)品生產(chǎn)一直沒停，設備產(chǎn)品停了一個多月，目前剛剛恢復生產(chǎn)。在物流、后勤保障和研發(fā)方面影響較大，三到五月，物流運輸成本增加較多，這一情況估計還會持續(xù)一段時間。研發(fā)停了一個多月，目前在逐步恢復。
光刻膠因其高壁壘、高價值量的特點，主要被日本、韓國和歐美國家壟斷，特別是ArF浸潤式（28nm及以下）以及EUV等關鍵節(jié)點，是半導體國產(chǎn)化的一道大坎。但隨著未來五年中國大陸晶圓廠的擴建趨勢，光刻膠的市場需求也將持續(xù)增加。上海新陽作為國內(nèi)半導體光刻膠企業(yè)的重要一員，正努力推動半導體光刻膠量產(chǎn)導入進程的加速。其表示，公司未來將繼續(xù)向半導體材料行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈深入發(fā)展，加快集成電路用高端光刻膠產(chǎn)品的研發(fā)并早日實現(xiàn)突破。同時，以集成電路產(chǎn)業(yè)為主，向平板（LCD）制造業(yè)、光電（LED）制造業(yè)等泛半導體材料領域橫向拓展。注：文內(nèi)信息僅為提供分享交流渠道，不代表本公眾號觀點